貝肯智能科技(蘇州)有限公司
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產(chǎn)品名稱(chēng): 顯微激光測(cè)振儀
發(fā)布日期: 2018-01-10
點(diǎn)擊數(shù): 1636
二維碼:
簡(jiǎn)述: 顯微激光測(cè)振儀,是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動(dòng)測(cè)量?jī)x器,也是一款可視化顯微測(cè)量分析的理想工具。顯微激光測(cè)振儀它可以通過(guò)顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量,可以精確測(cè)量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌,激光光斑達(dá)微米量級(jí),并可通過(guò)顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀(guān)察物體的振動(dòng)狀態(tài)(頻率、速度、加速度、位移)等信息。
顯微激光測(cè)振儀特點(diǎn):
非接觸測(cè)量,無(wú)負(fù)載;
激光光斑極小,微米級(jí);
優(yōu)越的帶寬和動(dòng)態(tài)范圍;
高空間分辨率;
工作距離可選;
高靈活性、易安裝、易操作;
振動(dòng)傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測(cè)量精度高
配有同軸照明裝置和相機(jī),可以方便迅速地確定測(cè)量位置。
顯微激光測(cè)振儀擴(kuò)展功能:
利用顯微鏡視頻閃頻技術(shù)測(cè)量物體面內(nèi)振動(dòng)特性(可定制)
通過(guò)白光干涉測(cè)量物體形貌特性(可定制)
顯微激光測(cè)振儀應(yīng)用領(lǐng)域:
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)動(dòng)態(tài)測(cè)試
生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、動(dòng)物學(xué)研究,如昆蟲(chóng)等生物的活體的振動(dòng)特性測(cè)量
計(jì)算機(jī)外設(shè)的動(dòng)態(tài)測(cè)試:硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器、光盤(pán)機(jī)、磁帶機(jī)、頭/盤(pán)接口等;
超聲振動(dòng)測(cè)量
壓電陶瓷振動(dòng)測(cè)量
弦線(xiàn)/絲線(xiàn)振動(dòng)特性測(cè)量
微型陀螺儀振動(dòng)測(cè)量
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顯微激光測(cè)振儀技術(shù)參數(shù) |
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工作溫度 |
3℃ - 45℃ |
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工作濕度 |
<90% |
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電 源 |
220 - 240Vrms,50-60Hz |
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激光波長(zhǎng) |
He-Ne Laser 632.8nm |
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速度量程① (可選) |
50mm/s,100mm/s,500mm/s 1m/s,5m/s,10m/s |
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輸出電壓 |
±10V |
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頻率范圍 |
DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz (根據(jù)解調(diào)卡而定) |
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濾波設(shè)置 |
高通低通濾波設(shè)置 |
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速度分辨率② |
1um/s |
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位移分辨率 |
0.008nm @ 20KHz 0.32nm @ 500Hz |
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大線(xiàn)性誤差 |
1.00% |
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機(jī) 架 (標(biāo)準(zhǔn)配置) |
反射用機(jī)架,低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。 粗調(diào)行程25mm,微調(diào)精度0.001mm。 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 |
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光學(xué)參數(shù) |
檢測(cè)器尺寸:1/2 測(cè)量距離:9mm(使用10X物鏡時(shí)) |
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觀(guān)測(cè)裝置 |
CMOS數(shù)碼相機(jī): 320萬(wàn)像素(USB2.0) |
注 ① 可以根據(jù)客戶(hù)要求選擇適當(dāng)量程
②采用高分辨率解調(diào)卡,速度分辨率可達(dá)0.02um/s
上一個(gè):金剛砂磨頭(砂粒)檢測(cè)
下一個(gè):工具測(cè)量顯微鏡
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